1 | Максимално работно налягане 20,6 Mpa. |
2 | Макс.работна температура 204 ℃ (високотемпературна среда до 454 ℃, по това време уплътнителният материал се заменя с експандиран графит) |
3 | Филтърна система Прилагат се прахови замърсители, газове, течности. |
4 | Неръждаема стомана прахова металургия синтерован филтър филтър точност 2μm ~ 40μm |
5 | Дебит на филтъра 1x 10 -6~1×10-2L/мин.cm2.па |
6 | Филтърът може да се сменя. |
Продуктови характеристики на Filter
1 | Широк диапазон на приложение, диапазон на дебита от 15 до 300SL / мин. |
2 | Има добра съвместимост с повечето полупроводникови технологични газове с висока чистота. |
3 | Капацитетът за филтриране на наночастици поддържа висока ефективност на потока и ултра малък спад на налягането. |
4 | 5Ra електрополирана повърхност може да предотврати вътрешното замърсяване. |
5 | Печете с горещ азот след дейонизирана вода, за да отговаряте на стандартите за полупроводников процес. |
6 | 1000 нива на асептична работилница без прах, среда за производство, почистване и опаковане. |
7 | Тествайте за 100% изтичане на хелий. |
Вход | Изход | |
1 | 1/8″ тръбен фитинг | 1/8″ тръбен фитинг |
2 | 1/4″ тръбен фитинг | 1/4″ тръбен фитинг |
3 | 3/8″ тръбен фитинг | 3/8″ тръбен фитинг |
4 | 1/2″ тръбен фитинг | 1/2″ тръбен фитинг |
5 | 6MM тръбен фитинг | 6MM тръбен фитинг |
6 | 8MM тръбен фитинг | 8MM тръбен фитинг |
7 | 10MM тръбен фитинг | 10MM тръбен фитинг |
8 | 12MM тръбен фитинг | 12MM тръбен фитинг |
9 | 1/8″ женски NPT | 1/8″ женски NPT |
10 | 1/4″ женски NPT | 1/4″ женски NPT |
11 | 1/4″ мъжки NPT | 1/4″ мъжки NPT |
12 | 3/8″ мъжки NPT | 3/8″ мъжки NPT |
13 | 1/2″ мъжки NPT | 1/2″ мъжки NPT |
Продуктови параметри на филтъра
1 | Точност на филтриране | ≥0,0025μm | |
2 | Ефективност на филтриране | Скорост на отстраняване99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Номинален поток | 15 л/мин | |
4 | 60л/мин | ||
5 | 120л/мин | ||
6 | 200л/мин | ||
7 | 300л/мин | ||
8 | Състав на филтъра | филтърен елемент | 316L/PTFE |
9 | жилища | неръждаема стомана 316L | |
10 | Условията на труд | Максимално входно налягане | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Максимално диференциално налягане | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Максимална работна температура | 430 ℃ (инертен газ) | |
13 | Скорост на изтичане на хелий | 1×10-9 atm.cc/сек | |
14 | Повърхностно покритие | ≤Ra 5μin |