Различните химикали и газове, използвани при производството на полупроводници, изискват стабилни течности за непрекъснато снабдяване на всеки етап от производството. Тези течни системи трябва да могат да поддържат крайните условия на процеса, необходими за производството на полупроводници, като същевременно гарантират чист, без теч и контролиран процес. Следователно изборът на компоненти на течната система е от решаващо значение в процеса на производство на прецизно полупроводниково производство.
Изборът на висококачествени компоненти на течната система е синоним на повишена ефективност на производството и намален престой на системата. По отношение на процеса на производство на полупроводници ще обсъдим критичната роля на компонентите на флуидната система и важността на тяхната надеждност.
Значение на компонентите на течната система при производството на полупроводници
Компонентите на течната система в производството на полупроводници включват различни химически системи за смесване, предаване и управление за безопасно транспортиране на химически течности в контролирана среда. Идеална течна система има:
➢ Еднообразно химическо смесване
➢ Контрол на замърсяването
➢ Контрол на температурата и налягането
➢NERNERTERTRED Химическо снабдяване
Само най -висококачествените компоненти могат да осигурят такива идеални условия в система за полупроводникова течност. Предимствата на използването на такива компоненти включват:
Точни: Компоненти като клапани, регулатори и помпи работят в тандем, за да се гарантира, че правилната част на химикала се доставя на производствената клетка. Прецизните входове премахват риска от вариации на потока, което подобрява качеството на крайния продукт.
Съвместимост и чистота: Компонентите на течната система с материални състави, които са съвместими с процесорните течности, намаляват риска от замърсяване. В допълнение, без течовете инсталиране на тези компоненти на системата на течността намалява замърсителите на праховите частици, осигурявайки чиста и контролирана производствена среда за подобрени добиви.
Безопасност: Газовете и химикалите, използвани при производството на полупроводници, могат да бъдат вредни за здравето на хората. Компонентите на течната система, предназначени да предотвратят течове и разливи, могат да доставят тези течности до производствените единици по безопасен и контролиран начин.
Ефективност: Конструкцията без теч и прецизният контрол на висококачествените компоненти на флуидната система минимизира оперативното време за престой и честите изисквания за поддръжка, насърчавайки гладкото, ефективно производство за постигане на производствени цели.
Качествени решения за компоненти на произведената течност
Компонентите на флуидната система изискват висококачествени инсталации, за да отговарят на предизвикателствата на производството на полупроводници. Основните компоненти, които влияят на FAB, включват:
Клапани: Високопроизводителни клапани, като диафрагма, духалки или игли клапани, в идеалния случай регулират потока на течността в производствените съоръжения. Устойчивите, висококачествени клапани осигуряват прецизността и контрола, необходими за подобряване на ефективността на производствените и обработващите процеси за критично производство на полупроводници.
Фитинги: Фитинги с висока чист за тръби и маркучи и други критични компоненти осигуряват запечатани връзки за повишаване на безопасността и чистотата на компонентите на течната система.
Маркучи: За прецизни изисквания за производство, изолираните маркучи помагат за термичното управление, така че условията на процеса в производствената стая да могат да се поддържат оптимално. Това е важно, тъй като най -малкото колебание на температурата може да повреди чипса и да доведе до производствени отпадъци.
Гъвкави тръби: Когато условията позволяват, гъвкави тръби могат да се използват за намаляване на броя на фитингите в сглобяването на течната система. Тръбата е огъната, за да се получи желаният път на течността. По -малко фитинги означава по -малък риск от течове и повреди поради вибрации и движение.
Регулатори: Регулаторите ефективно контролират налягането на всеки етап от процеса на производство на полупроводници. Постоянният и точен поток постига постоянни, висококачествени добиви, като същевременно избягва пропилени течности химикали и специализирани материали.
Филтри: Единична частица може да повлияе на полупроводниковите характеристики. Използването на ултра-високи филтри за чистота елиминира замърсяването на частиците и свежда до минимум увреждането на чипа.
Ефективността на течната система при производството на полупроводници може да бъде постигната с широката гама от висококачествени клапани, фитинги, регулатори, маркучи и филтри на AFK-Lok.
Време за публикация: октомври-09-2023