Използването на газове в полупроводниковата индустрия датира от началото на 50 -те до 1960 г. По време на процеса на производство на полупроводници газовете се използват главно за почистване и защита на полупроводникови материали, за да се гарантира тяхната чистота и качество. Сред най -често използваните газове са азот и водород.
С развитието на полупроводниковите технологии и производствените процеси продължиха да се подобряват, търсенето на газове се увеличава. През 1970 г. по -нататъшното развитие на технологията за производство на полупроводници, прилагането на газове в ключови процеси като офорт и отлагане на тънки филми постепенно се увеличава, а флуоридните газове (напр. SF6) и кислородът често се използват ецване и отлагане на газове. 1980 г. отбеляза по -нататъшно увеличение на търсенето на газове с развитието на интегрални вериги и увеличаване на търсенето на тях. Водородът е широко използван в производствения процес, включително отгряване на водород и отлагане на водородни пари. И от 1990 г. до днес търсенето на газове с висока чист и специфични газове се увеличава, тъй като размерите на полупроводниковите устройства продължават да се свиват и са въведени нови процеси. Например, прилагането на екстремна ултравиолетова литография (EUV) изисква използването на изключително високо чистота газове като азот и водород.
Полупроводниковите газ продължават да се увеличават с развитието на свързани продукти, задвижвани от все повече и повече продукти, докато газът също принадлежи към източника на опасност, така че продуктите, използвани за декомпресия на газ, продукти за откриване на газ и предотвратяват продуктите на изтичане на газ, като регулатори на налягането, газови клапани, газове на налягането на газ, детектор за изтичане на газ и т.н., и ролите им са както следва:
Регулатори на налягането: Регулаторите на налягането са устройства, използвани за контрол на налягането на газ. Те обикновено се състоят от регулатор и сензор за налягане. Регулаторите на налягането приемат вход на газ с високо налягане и стабилизират налягането на изходния газ, като регулират клапана, за да отговарят на конкретни изисквания за приложение. Регулаторите на налягането се използват широко в области като промишленост, производство и лаборатории, както и в полупроводниковата индустрия, наред с други, за да се гарантира стабилността и безопасността на доставката на газ.
Газови клапани: Газовите клапани се използват за контрол на потока на газовете и за затваряне на газови проходи. Те обикновено имат функция за включване/изключване, която се отваря или затваря газовия поток. Има различни видове газови клапани, включително ръчни клапани, електрически клапани и пневматични клапани. Те се използват широко в газовите системи за контрол на потока, налягането и дебита на газовете.
Намерни измерватели на газовото налягане: Измерват измерванията на газовото налягане за измерване на нивото на налягане на газ. Обикновено те са инсталирани на критични места в газовите системи, за да наблюдават промените на налягането и да гарантират, че са в безопасни граници. Габаритите за налягане на газ се използват широко в промишлеността, производството и лабораториите, а полупроводниковата индустрия също е участвала.
Детектори за изтичане на газ: Детекторите за изтичане на газ се използват за откриване на течове в газовите системи. Те откриватНаличието на изтичане на газ и звук на аларма, така че да се предприемат навременни действия за предотвратяване на инциденти с изтичане. Детекторите за изтичане на газ се използват широко в промишлените, химическите, нефтените и газовите приложения, а също така е участвала полупроводниковата промишленост.
Време за публикация: 20 февруари2024