С нарастването на полупроводниковия пазар, стандартите за чистота и точност стават по -строги. Един от определящите фактори в качеството на производството на полупроводници са газовете, използвани в процеса. Тези газове играят много роли в производствения процес, включително:
Прецизен контрол на процеса
Предотвратяване на замърсяване
Подобряване на металургичната собственост
За да изпълнявате ефективно тези роли, системата за доставка и разпределение на газ трябва да бъде ефективна. Дизайнът на системите за обработка на газ, използвани при производството на полупроводници, трябва да бъде подкрепен от стабилни компоненти и персонализирани сглобки, за да се осигури надеждно и висококачествено производство на полупроводници.
Газове, използвани при производството на полупроводници
Процесът на производство на полупроводници изисква използването на различни газове на различни етапи на процеса.
Докато обикновените газове като азот, водород, аргон и хелий могат да се използват в тяхната чиста форма, някои процеси могат да изискват специализирани смеси. Силаните или силоксаните, хексафлуоридите, халидите и въглеводородите са част от специалните газове, използвани при производството на полупроводници. Много от тези газове могат да бъдат опасни или силно реактивни, създавайки предизвикателства при избора и проектирането на компоненти за газовите системи.
Ето няколко примера:
\ Водородът и хелий могат лесно да изтичат от системи за тръбопроводи и монтаж поради малкия им атомен размер и тегло.
\ Силаните са силно запалими и могат спонтанно да изгарят (автогнит) във въздуха.
\ Азотен дифлуорид, използван в етапите на отлагане, офорт и почистване на камерата, се превръща в мощен парников газ при изтичане в околната среда.
\ Водороден флуорид (ецващ газ) е силно корозивен спрямо металните тръби.
\ Trimethylgallium и амоняк могат да бъдат трудни за справяне - малките колебания в техните изисквания за температура и налягане могат да повлияят на процеса на отлагане.
Контролирането на условията на процеса, за да се сведе до минимум отрицателните ефекти на тези газове, трябва да бъде основен приоритет по време на дизайна на системата. Също толкова важно е да се използват най -висококачествените компоненти като клапаните на диафрагмата на AFK по време на процеса на изграждане.
Справяне с предизвикателствата на дизайна на системата
Газовете за полупроводници в повечето случаи на висока чистота и осигуряват инертни условия или подобряват реакциите на различни етапи на производствения процес, като ецване и газове от отлагане. Изтичането или замърсяването на такива газове може да има отрицателни ефекти. Следователно, това е от решаващо значение за компонентите на системата, използвани за херметически запечатани и устойчиви на корозия, както и имат гладко покритие на повърхността (електролитно полиране), за да се гарантира, че няма възможност за замърсяване и да се поддържа изключително високо ниво на чистота.
В допълнение, някои от тези газове могат да се нагряват или охлаждат, за да се постигнат желани условия на процеса. Добре изолираните компоненти гарантират контрол на температурата, което е от решаващо значение за ефективността на крайния продукт.
От входа на източника до точката на използване, широкият диапазон от компоненти на AFK поддържа ултра-високата чистота, температурата, налягането и контрола на потока, необходими в почистващите помещения и вакуумните камери.
Проектирани системи с качествени компоненти в полупроводникови фабрики
Ролята на качествените компоненти и оптимизацията на дизайна е от решаващо значение за прецизния контрол и безопасното производство на полупроводници. Използваните компоненти трябва да бъдат здрави и без теч, за да съответстват на различните условия на процеса, необходими на различни етапи на производството. Висококачествените клапани, фитинги, регулатори, тръбопроводи и уплътняващи скоби се характеризират със следните характеристики:
Ултра-висока чистота
Уплътнения без течове
Температурна контролирана изолация
Контрол на налягането
Корозионна устойчивост
Електролитично полиране
Време за публикация: октомври-09-2023