Технологични решения за системи за доставка на газ с висока чист за полупроводникови процеси

Технологията за газопроводи с висока чист е важна част от системата за доставка на газ с висока чист, която е основната технология за доставка на необходимия газ с висока чист до точката на използване и все още поддържа квалифицираното качество; Технологията за газопроводи с висока чистота включва правилния дизайн на системата, избора на фитинги и аксесоари, конструкция и монтаж и тестване. През последните години все по-строгите изисквания относно съдържанието на чистота и примес на газове с висока чист при производството на микроелектронични продукти, представени от мащабни интегрални схеми, направиха технологията на тръбопроводи на газовете с висока чист все по-загрижени и подчертани. По-долу е кратък преглед на газопроводите с висока степен от избора на материалиof строителство, както и приемане и ежедневно управление.

Видове обикновени газове

Класификация на обикновените газове в електрониката:

Обикновени газове（Насипни газове）: водород (з₂₎, азот (n₂), кислород (o₂), Argon (a₂) и т.н.

Специални газовеса sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,Hcl,CF₄ ,NH_3,Покл_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  Bcl_{3 ,}Сиф₄ ,Clf₃ ,Co,C₂F_6, N2O,F_2,Hf,HBR SF₆…… и т.н.

Видовете специални газове обикновено могат да бъдат класифицирани като корозивниГаз, токсиченГаз, запалимГаз, горимГаз, инертГаз.

(i) Корозивен / токсиченГаз: Hcl, bf₃, Wf₆, HBR, SIH₂Cl₂, Nh₃, Ph₃, Cl₂, Bcl₃… И т.н.

(ii) ЗапалимостГаз: З₂, Гл₄, Sih₄, Ph₃, Ash3, sih₂Cl₂, B₂H₆, CH2F_2,Гл₃F, Co… и т.н.

(iii) горимостГаз: O₂, Cl₂, N₂O, nf₃… И т.н.

(iv) инертГаз: N₂, Cf₄, C₂F₆, C₄F_8,Sf₆, Co₂, Ne, kr, той… и т.н.

Много полупроводникови газове са вредни за човешкото тяло. По -специално, някои от тези газове, като SIH₄ Спонтанно горене, стига течът да реагира насилствено с кислорода във въздуха и да започне да гори; и Аш₃Силно токсичен, всяко леко изтичане може да причини риска от човешкия живот, това е поради тези очевидни опасности, така че изискванията за безопасността на дизайна на системата са особено високи.

Приложение обхват на газове  

Като важна основна суровина на съвременната промишленост се използват широко газови продукти, а голям брой обикновени газове или специални газове се използват в металургия, стомана, петрол, химическа промишленост, машини, електроника, стъкло, керамика, строителни материали, строителство, хранителна преработка, медицина и медицински сектор. Прилагането на газ има важно влияние върху високата технология на тези полета в частност и е неговият незаменим газ или газ на суровини. Само с нуждите и насърчаването на различни нови индустриални сектори и съвременните науки и технологии продуктите на газовата индустрия могат да бъдат разработени чрез скокове и граници по отношение на разнообразие, качество и количество.

Прилагане на газ в микроелектрониката и полупроводниковата индустрия

Използването на газ винаги е играл важна роля в процеса на полупроводникови, особено полупроводниковият процес е широко използван в различни индустрии, от традиционната ULSI, TFT-LCD до настоящата микроелектромеханична (MEMS) индустрия, като всички от които използват така наречения полупроводник като производствен процес на продукти. Чистотата на газа има решаващо влияние върху работата на компонентите и добивите на продуктите, а безопасността на доставките на газ е свързана със здравето на персонала и безопасността на растителните операции.

Значението на тръбопроводите с висока чист при газов транспорт с висока чист

В процеса на топене от неръждаема стомана и правене на материал, около 200 г газ може да се абсорбира на тон. След обработката на неръждаема стомана, не само повърхността му лепкава с различни замърсители, но и в металната си решетка също абсорбира определено количество газ. Когато има въздушен поток през тръбопровода, металът абсорбира тази част от газа, ще влезе отново в въздушния поток, замърсявайки чистия газ. Когато въздушният поток в тръбата е прекъснат поток, тръбата адсорсира газа под налягане, а когато въздушният поток спре да преминава, газът, адсорбиран от тръбата, образува спад на налягането за разрешаване, а разрешеният газ също навлиза в чистия газ в тръбата като примеси. В същото време адсорбцията и разделителната способност се повтарят, така че металът върху вътрешната повърхност на тръбата също произвежда определено количество прах, а тези метални прахови частици също замърсяват чистия газ вътре в тръбата. Тази характеристика на тръбата е от съществено значение, за да се гарантира чистотата на транспортирания газ, която изисква не само много висока гладкост на вътрешната повърхност на тръбата, но и с висока устойчивост на износване.

Когато се използва газ със силни корозивни характеристики, за тръби трябва да се използват устойчиви на корозия тръби от неръждаема стомана. В противен случай тръбата ще произвежда корозионни петна по вътрешната повърхност поради корозия, а в сериозни случаи ще има голяма площ от метално събличане или дори перфорация, която ще замърси чистия газ, който ще бъде разпределен.

Връзката на високото чистота и високопоставеното предаване на газ и разпределителните тръбопроводи с големи дебити.

По принцип всички те са заварени, а използваните тръби са необходими, за да нямат промяна в организацията, когато се прилага заваряване. Материали с твърде високо съдържание на въглерод са подложени на пропускливостта на въздуха на заварените части при заваряване, което прави взаимното проникване на газове вътре и извън тръбата и унищожава чистотата, сухотата и чистотата на предавания газ, което води до загуба на всичките ни усилия.

В обобщение, за газопровода с голяма чист и специален тръбопровод за пренос на газ е необходимо да се използва специална обработка на тръбопровода от неръждаема стомана с висока чистота, за да се направи тръбопроводна система с висока чист (включително тръби, фитинги, клапани, VMB, VMP) при разпределение на газ с висока чист заема жизненоважна мисия.

Обща концепция за чиста технология за трансмисия и разпределителни тръбопроводи

Силно чисто и чисто предаване на тялото на газовото тяло с тръбопроводи означава, че има определени изисквания или контроли за три аспекта на газа, които трябва да бъдат транспортирани.

Чистота на газа: Съдържанието на атмосферата на примесите в чистотата на GGAS: Съдържанието на атмосферата на примесите в газа, обикновено изразено като процент от чистотата на газа, като 99.9999%, също се изразява като съотношение на обема на съдържанието на атмосфера на примеси PPM, PPB, PPT.

Сухота: Количеството на следите влага в газа или количеството, наречено влажност, обикновено се изразява по отношение на точката на оросяване, като атмосферно налягане на росата точка -70. В.

Чистота: Броят на замърсителните частици, съдържащи се в газа, размера на частиците на µm, колко частици/m3 да се експресират, за сгъстен въздух, обикновено се изразяват и по отношение на това колко mg/m3 от неизбежните твърди остатъци, което обхваща съдържанието на маслото.

Класификация на размера на замърсителите: частици за замърсители, главно се отнася до разтърсване на тръбопроводи, износване, корозия, генерирана от метални частици, атмосферни сажди частици, както и микроорганизми, фаги и газови кондензации, съдържащи влага, се разделят на капчици на газови кондензации и т.н., според размера на размера на частицата му се разделят на капчици

а) Големи частици - размер на частиците над 5км

б) Частица-Диаметър на материала между 0,1 μm-5 μm

В) Ултра-микро-микро частици-размер на частиците по-малък от 0,1 μm.

За да се подобри прилагането на тази технология, за да можете да възприемате разбирането на размера на частиците и µm единици, е предоставен набор от специфичен статус на частиците

Следното е сравнение на специфични частици